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ワイヤーボンダー用スパーク電極 / EFOトーチ
電気特性に優れる白金電極を使用しているので良好な電流密度が得られます。他、Ir(イリジウム)、Cu (銅)、Ag (銀) 又、白金は耐熱温度も高く酸化による磨耗が少ないので価格も安くライフも伸びて経済的です。
ASM、K&S、ESEC、新川、KAIJO 等のメーカーに対応できます。
EFOトーチ(電極トーチ)はワイヤーボンディングプロセスで使用されます。半導体業界で使用される各社のワイヤーボンダー用のEFOトーチを幅広く設計・提供しています。
K&S、ASM、KAIJO、SHINKAWAなどのメーカーに対応しています。標準的にはPt(プラチナ)が使用されますが、高寿命高性能な Ir(イリジウム)品も提供しています。